碳化硅生产需哪些设备设
2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 - 知乎
2023年11月12日 现阶段，国内已有多家企业实现了对碳化硅外延设备的规模出货，包括晶盛机电、北方华创、纳设智能、中电科48所等。 今年2月， 晶盛机电 发布了6英寸双片 2020年10月21日 晶体生长及晶体加工、芯片制造和 芯片封装 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有 2023年12月5日 SiC衬底设备主要包括：长晶炉、切片机、研磨机、抛光机、清洗设备等。 与传统传统晶硅设备具相通性、但工艺难度更高，设备+工艺合作研发是关键。 外延设 半导体碳化硅（SIC）产业链图谱详解； - 知乎
碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备
2023年4月26日 目前，意法半导体、丰田集团和 电装集团等已实现 HTCVD 规模化生产碳化硅晶体，国内江苏超芯星已 研制出 HTCVD 碳化硅单晶生长设备。 TSSG法有望成为制备大尺寸、高结晶质量且成本更低的衬底制 2023年5月8日 碳化硅行业企业的业态主要可以分为两种商业模式：第一类是覆盖较全的产业链环节，同时从事碳化硅衬底、外延及器件的制作，例如科锐公司等；第二类是只从事产业链的单个或者部分环节，例如II-VI公 中国碳化硅产业链全景图，附30家企业汇总 - 知乎2023年4月25日 相比硅基功率器件工艺设备，由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳 国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备 - 模拟 ...
产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻
2022年12月15日 大族激光在近期指出，公司应用于第三代半导体的SiC晶锭激光切片机、SiC超薄晶圆激光切片机正在客户处做量产验证。 11月，宇晶股份在接受机构调研时 2023年2月26日 碳化硅:大功率、高频、低损耗功率器件的最佳材料 ......................................................................................................... 3 1.1、 驱动因素一:车 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...2022年3月7日 2、衬底. 长晶完成后，就进入衬底生产环节。. 经过定向切割、研磨（粗研磨、精研磨）、抛光（机械抛光）、超精密抛光（化学机械抛光），得到碳化硅衬底。. 衬底主要起到物理支撑、导热和导电的作用 碳化硅产品的应用方向和生产过程 - 知乎
产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻
2022年12月15日 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”. 集微网报道，2022年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启了去库存周期。. 值得一提的是，虽然半导体产业已经步入下行周期，但仍有部分 ...2021年10月15日 本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！. 近些年来，随着汽车和工业的升级，以SiC为代表的第三代化合物开始受到行业的青睐。. 根据Yole预测，2018-2024年，全球SiC功率器件市场规模将由4.20亿美元增 本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！ - 知乎专栏2023年4月25日 因此，产业上需要将Si基功率器件生产线转换成SiC器件生产线，往往只需要增加一些专用设备就可以完成生产线设备平台的转型。各工艺环节关键设备如表1所示。 表1 碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 1.3 SiC工艺及装备挑战国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备 - 模拟 ...
碳化硅（SIC）的长处和难点详解； - 知乎
2023年10月30日 SiC碳化硅器件是指以碳化硅为原材料制成的器件，按照电阻性能的不同分为导电型碳化硅功率器件和半绝缘型碳化硅基射频器件。导电型碳化硅功率器件主要是通过在导电型衬底上生长碳化硅外延层，得到碳化硅外延片后进一步加工制成，品种包括肖特基二极管、 MOSFET、IGBT等，主要用于电动汽车 ...2020年6月16日 半导体制造之设备篇. 半导体需要的设备比较繁杂，在晶圆制造中，由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中需要20到50次的反复制作，是芯片前端加工过程的三大核心技术，其设备价值也最高，但半导体制造设备远远不止这些，本文将一一比较国产化 半导体制造之设备篇：国产、进口设备大对比 - 知乎2020年6月16日 碳化硅器件的制备方面，个人理解主要有 1. 光刻对准，相较于传统硅片，双面抛光的碳化硅晶圆是透明的，光刻对准是一个难点 2. 离子注入和退火激活工艺，由于碳化硅材料的特性，制备器件时掺杂只能靠离子注入的方式，而且需要高能粒子注入。碳化硅器件目前有什么生产难点？？ - 知乎
碳化硅产业链深度解析（全网最全独家） 碳化硅产业链深度 ...
2023年2月4日 碳化硅优势：. 1）有利于小型化，可以使电感电容尺寸小型化，节省电容电感的材料成本. 2）工作速度快，频率约是 10 倍，. 3）工作温度更高，功率器件，IGBT等模块的话，约170度，碳化硅可达到200 度甚至更高。. 4）快充必然需要碳化硅. 5）寿命更 2022年9月6日 四、碳化硅产业现状. 1、中国碳化硅产量分为黑碳化硅和绿碳化硅，2020年中国黑碳化硅产量为75万吨，绿碳化硅产量为10.5万吨，2021年中国黑碳化硅产量为90万吨，绿碳化硅为11万吨，产量相继上涨。. 说明我国碳化硅行业发展前景及需求量较为良好。. 2020-2021年 ...碳化硅行业发展现状如何？一文读懂碳化硅产量、良率及进出口2023年12月5日 碳化硅产业链主要由衬底、外延、器件、应用等环节组成。碳化硅晶片作为半导体衬底材料，根据电阻率不同可分为导电型、半绝缘型。导电型衬底可用于生长碳化硅外延片，制成耐高温、耐高压的碳化硅二极管、碳化硅MOSFET等功率器件，应用于新能源汽车、光伏发电、轨道交通、智能电网、航空 ...半导体碳化硅（SIC）产业链图谱详解； - 知乎
碳化硅产业链最全分析 - 知乎
2021年12月5日 本文首发自公众号：价值盐选. 今天我们分析一下半导体产业链，这条产业链分为很多环节，比如材料、设备、芯片设计、芯片制造、封装测试。. 我们先来分析其中一种材料，叫做碳化硅 SiC。. 01 SiC 基 2022年3月2日 1. SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心. 1.1. SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越. 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。. 核心分为以下三 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产 2022年5月16日 芯片需要经过设计、制造（包括硅片制造以及晶圆制造）、封装测试才能最终落到客户手中。. 芯片制造流程图. 晶圆制造中的半导体设备，按生产流程的大类可分为光刻机、刻蚀设备、薄膜设备等十余种，每一种大类又可以按工作原理不同或处理的材料不同而 ...除了光刻机，晶圆制造还需要哪些半导体设备？ - 知乎
2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇_产能 ...
2023年11月12日 虽然碳化硅产能扩建一片红红火火，但想要大规模起量乃至获得高额收益，至少要等到2025年以后了，如今都不过是在烧钱布局罢了，最先从中受益的反而是设备厂商，由于碳化硅的扩建扩产，相关设备市场皆呈现供不应求的状态，Insemi预计2025年碳化 2023年4月18日 碳化硅芯片项目耗钱耗时耗人，缺芯问题与项目投资巨大、回报周期长相关。. 据了解，碳化硅芯片项目投资建设期约为18~24个月，要经历设备导入 ...缺芯催促国产碳化硅半导体加速“上车”_新浪财经_新浪网2023年1月1日 碳化硅（又名：碳硅石、金钢砂或耐火砂），化学简式：SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成的一种耐火材料。碳化硅在大自然也存在于罕见的矿物，莫桑石中。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种。碳化硅 - 知乎
碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎
2023年3月13日 晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输 2021年7月21日 碳化硅，第三代半导体时代的中国机会. 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐。. 今年发布的“‘十四五’规划和 ...碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 - 国家自然科学基金 ...2023年10月20日 碳化硅设备行业深度报告：SiC东风已来 ，关注衬底与外延环节的材料+设备国产化机遇【勘误版】-230914 2023年10月20日 17:08 ... 的核心差异是对气体 ...碳化硅设备行业深度报告：SiC东风已来，关注衬底与外延 ...
行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
2023年2月26日 《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师）